曲面電子是指將電子結(jié)構(gòu)或器件制備在曲面基材上的新型電子技術(shù),通常曲面電子也具備柔性化、大面積等特征,因此其具有平面硅基微電子所不具備的優(yōu)勢(shì),在航空航天、信息通信和健康醫(yī)療等領(lǐng)域已顯示出巨大發(fā)展空間和應(yīng)用前景,如智能蒙皮、共形天線、電子皮膚等。由于曲面基材在工藝制造上造成的限制,傳統(tǒng)光刻、電子束、離子束等刻蝕工藝,以及絲網(wǎng)印刷、軟印刷、納米壓印等印刷工藝均無(wú)法解決大面積曲面電子的制造難題,而電噴印工藝作為新型噴墨打印工藝具有極高的打印分辨率,且采用非接觸式加成制造工藝,不受基材的限制,成為了制備曲面電子結(jié)構(gòu)或器件的理想制造方式。
曲面共形噴印是指在曲面基材上進(jìn)行電噴印工藝,共形噴印過(guò)程中噴嘴運(yùn)行軌跡始終與曲面保持在垂直方向上等高,以避免因噴嘴距離基材高度的變化對(duì)電場(chǎng)造成過(guò)大的擾動(dòng)。