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電流體動(dòng)力噴印能滿足未來制造電子器件的苛刻要求

電子器件的制造是ehd電流體噴印的主要應(yīng)用之一。與利用光刻圖案化、功能材料的物理或化學(xué)氣相沉積以及干濕蝕刻來定義器件特性的傳統(tǒng)電子制造方法相比,印刷工藝為電子制造提供了許多獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。此外,印刷技術(shù)具有獨(dú)特的能力,可以在非常規(guī)基板上提供可能與半導(dǎo)體制造工藝不兼容的各種功能材料,例如柔性/可拉伸基板和不均勻曲面。因此,印刷電子成為一個(gè)新興產(chǎn)業(yè)受到電子制造界的高度重視。雖然噴墨打印目前是一種工業(yè)印刷電子的標(biāo)準(zhǔn),因?yàn)檫@項(xiàng)技術(shù)幾十年來被廣泛使用,現(xiàn)在已經(jīng)落后于要求嚴(yán)格的快速發(fā)展的電子工業(yè)對(duì)分辨率的要求。最先進(jìn)的電子技術(shù)不斷追求更高水平的特性/功能集成和關(guān)鍵特性尺寸的減小,以獲得更好的性能,如功能增強(qiáng)、速度快和功耗低。ehd印刷作為一種高分辨率的印刷方法,滿足了未來印刷電子對(duì)分辨率的要求。電流體動(dòng)力印刷已經(jīng)被證明是一種有效的電子制造方法,許多電子器件已經(jīng)成功制造出來。將ehd印刷工藝應(yīng)用于觸摸傳感器、微懸臂梁傳感器、應(yīng)變傳感器等傳感器的研究。柔性觸摸傳感器直接由ehd打印到柔性基板(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)具有精心控制的繪圖速度和印刷電壓。用于制造觸摸傳感器的導(dǎo)電材料是銀納米顆粒,納米顆粒的重量比約為20-35%。印刷的觸摸傳感器具有良好的靈活性和對(duì)觸摸信號(hào)的敏感響應(yīng)。微懸臂梁傳感器可以提供高靈敏度的各種分析物的無標(biāo)簽檢測(cè)。通過EHD印刷,成功地將直徑小于10μm的聚合物液滴沉積到懸臂梁的頂端。


標(biāo)簽